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制作霍尔元件的小知识,看过来

返回列表 来源:未知 浏览: 发布日期:2019-12-21 13:42:06【
随着霍尔元件在生活中的应用越来越普及,那么制造霍尔元件这一行业技术也越来越提高了,小编在这里为大家介绍一些制造霍尔元件的小知识。

为了提高霍尔元件的稳定性和可靠性,在制备过程中,需要对其进行钝化。传统的钝化工艺,一般采用PECVD方法生长S12或Si3N4来进行钝化。在钝化过程中,等离子体会对材料表面产生损伤,从而导致损伤部位产生缺陷,缺陷会导致电子传输的不均匀,从而引起不平衡电压增大。另一方面,这些缺陷会随着温度及电场等外部条件的变化而变化,严重影响霍尔元件的稳定性和可靠性下降,不利于霍尔元件的长期使用。
对于半导体突变异质结,由于导带底能量突变量的存在,则在界面附近出现有“尖峰”和“凹口”;实际上,对异质结中导带电子的作用而言,该“尖峰”也就是电子的势皇,“凹口”也就是电子的势阱,如果“凹口”的势阱足够大,则其中的电子只能在势阱中沿着平面的各个方向运动,即为二维运动的电子,形成二维电子气。